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真空泵的工作原理

旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子转子外圆与泵腔内表面相切二者有很小的间隙转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分当转子按箭头方向旋转时与吸气口相通的空间A 的容积是逐渐增大的正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大即膨胀气体压强降低泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时即转至空间B的位置气体开始被压缩容积逐渐缩小最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时排气阀被压缩气体推开气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级低真空级由低真空级抽走再经低真空级压缩后排至大气中即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担因而提高了极限真空度。